Технология травления магниевых пластин

Засветка

Требуемый уровень по шкале Штофера примерно равен 9 (8-10). Для тонких деталей требуется "11" уровень. Мощность лампы засветки 400-600mJ/cm2.

Проявление

Погрузите магниевую пластину в 1% раствор гидроокиси натрия на 8-10 секунд, или в 5% водный раствор карбоната натрия (Na2CO3) или проявляющий раствор Hydro-Solve на 1минуту, при температуре 30°С, затем извлеките магниевую пластину, аккуратно промойте губкой в чистой воде.

При необходимости снова погрузите магниевую пластину в проявитель.

Для ускорения процесса проявления помещайте магниевую пластину в нагретый раствор.

ПРОМОЙТЕ ЧИСТОЙ ВОДОЙ, рекомендуется промывать из лейки.

Обжиг пластины не требуется.

Взвешивание

Запишите вес до травления в журнал.

Предварительное травление

Поместите пластину в 3% водный раствор азотной кислоты (HNO3) комнатной температуры и слегка почистите мягким тампоном, затем промойте чистой водой.

Травление

При травлении воспользуйтесь руководством к травильной машине.

Формула для ванны:

Азотная кислота  - 41.8°Be'19% по объему

Травильная добавка - 4% по объему

Вода - 77% по объему

Характеристики травильной машины при старте травления:

Глубина опускания лопаток в раствор -    8-10мм

Скорость вращения лопаток-  380 об/мин

Начальная температура раствора -            28°C

Скорость вращения держателя пластины - 6-8 об/мин

Скорость травления:       1 мм в глубину за 7 минут для нового раствора

После травления промойте пластину водой или водным раствором трехзамещенного фосфата натрия, затем высушите.

Добавление кислоты в раствор:

Взвесьте пластину и запишите данные в журнал – вес после травления, чтобы рассчитать количество растворенного магния, затем добавьте азотную кислоту соответственно, около 160мл азотной кислоты на 1 унцию растворенного в растворе магния. Не забудьте измерить глубину погружения лопаток после добавления раствора и выровнять их по необходимой.

Промывка и обрезка пластины до размеров клише

Снятие оставшегося фоторезиста с полученного клише

Погрузите пластину в 10% раствор гидроокиси натрия  (NaOH) или в специализированный раствор для удаления фоторезиста при температуре 30°C в течение около 3 минут, затем выньте пластину, почистите щеткой и промойте.